[发明专利]用于确定绝对位置的线性位移测量装置以及线性导轨有效

专利信息
申请号: 201880082650.1 申请日: 2018-12-19
公开(公告)号: CN111542730B 公开(公告)日: 2022-08-09
发明(设计)人: 克劳斯·迪特尔·戈茨 申请(专利权)人: 施内贝格尔控股公司
主分类号: G01D5/245 分类号: G01D5/245
代理公司: 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 代理人: 齐永红
地址: 瑞士罗*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 用于确定绝对位置的线性位移测量装置(10),包括线性轨道(30),其包括沿纵方前后设置的多个轨道节(30a,30b)。每一轨道节具有实物量具(40a,40b),其包括沿纵向延伸的至少一个增量轨迹(41.1),并具有等距排列的定位标。除增量轨迹(41.1)外,其中一个轨道节(30a)的实物量具(40a)还具有用于编码多个绝对位置的定位标的绝对轨迹(45)。扫描器(50)沿所述轨道节移动并包括以第一传感器(51.1)、第二传感器(51.2)以及第三传感器(51.3)扫描实物量具(40a,40b)的传感装置。所述第一传感器和第二传感器在纵轴方向上相对于彼此偏移设置,并用于检测增量轨迹(41.1)的定位标。所述第三传感器检测其中一个轨道节(30a)的实物量具(40a)的绝对轨迹(45)的定位标。可通过传感器(51.1,51.2,51.3)的信号(S1,S2.S3)来计算扫描器(50)的绝对位置的绝对值(AW2)。
搜索关键词: 用于 确定 绝对 位置 线性 位移 测量 装置 以及 导轨
【主权项】:
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