[发明专利]用于3D IC应用的可激光释放粘结材料有效

专利信息
申请号: 201880082753.8 申请日: 2018-12-21
公开(公告)号: CN111556807B 公开(公告)日: 2023-09-08
发明(设计)人: R·普利吉达;吴起;刘晓;白东顺;B·黄 申请(专利权)人: 布鲁尔科技公司
主分类号: B32B7/06 分类号: B32B7/06;B32B27/28;B32B27/20;C09J171/08;C09J11/06;C09J5/04;H01L21/18;H01L21/268;H01L23/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 蔡文清;江磊
地址: 美国密*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了新型的基于热塑性聚羟基醚的组合物,其用作用于暂时性粘结和激光脱粘工艺的可激光释放的组合物。本发明组合物可以使用各种UV激光脱粘,几乎不留残渣。由这些组合物形成的层具有良好的热稳定性,并且可溶于通常使用的有机溶剂(例如环戊酮)中。该组合物还可以用作RDL形成的堆积层。
搜索关键词: 用于 ic 应用 激光 释放 粘结 材料
【主权项】:
暂无信息
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