[发明专利]蒸镀掩膜、其制造方法以及有机EL显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 201880083181.5 | 申请日： | 2018-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111788326A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 岸本克彦;豆野和延 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及的蒸镀掩膜包括：树脂膜，其具有第一至第三开口以一定的周期排列的第一至第三开口图案中的至少一个开口图案，所述第一至第三开口用于形成构成显示面板的一个像素的第一至第三子像素；金属支承层，其与树脂层连接，并具有包含树脂层的第一至第三开口中的任意一个地形成的第四开口的开口图案。在由树脂膜的金属支承层的第四开口暴露的区域上形成有树脂膜的第一至第三开口中的任意一个或两个开口。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜 制造 方法 以及 有机 el 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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