[发明专利]氧化硅膜用研磨液组合物有效
| 申请号： | 201880083779.4 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN111511870B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 内田洋平 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/3105;B24B37/00;B24B37/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的氧化硅膜用研磨液组合物含有氧化铈粒子、水溶性高分子化合物及水系介质，上述水溶性高分子化合物是包含甜菜碱结构的水溶性高分子化合物(其中，羧基甜菜碱均聚物、磺基甜菜碱均聚物除外)。上述水溶性高分子化合物优选为含有结构单元A和结构单元B的水溶性高分子化合物，所述结构单元A包含甜菜碱结构，所述结构单元B是上述结构单元A以外的结构单元，且含有伯氨基、仲氨基、叔氨基、季铵基及它们的盐中的至少1种基团。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 硅膜用 研磨 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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