[发明专利]负载传感器及负载传感器一体式多轴执行器有效
| 申请号： | 201880084077.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111566461B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 李奎;江口功太郎 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01L1/22;H05K13/04 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 郭红丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加于对象物的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被按压在芯片上，所述负载传感器包括连结构件(30)，该连结构件(30)用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)以一体化状态具有第1连结部(31)及第2连结部(32)，所述第1连结部(31)连结驱动杆(12)，所述第2连结部(32)连结吸附杆(22)，第1连结部(31)具有：应变产生体部分(311)，其相对于第2连结部(32)形成得较薄，并支撑驱动杆(12)；及应变仪(41)～(44)，其安装在应变产生体部分(311)。 | ||
| 搜索关键词： | 负载 传感器 体式 执行 | ||
【主权项】：
暂无信息
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