[发明专利]激光光源装置和检查装置有效
| 申请号： | 201880085224.3 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111587395B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 村田浩之;大久保宪治;石川直道 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G01N21/956;H01L21/66;H01S3/10;G03B21/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有：光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，其对第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)进行合成，与第1分支光束(L1)的光路长度相比，第2分支光束(L2)的光路长度设定得较长，在第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)的光路中具有扩散板(41、42、43)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 光源 装置 检查 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东丽工程株式会社，未经东丽工程株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880085224.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
