[发明专利]包括堆叠的半导体芯片的CMOS图像传感器和包括超晶格的读出电路系统及相关方法

摘要

CMOS图像传感器可以包括第一半导体芯片和第二半导体芯片，其中第一半导体芯片包括图像传感器像素的阵列和电连接到它的读出电路系统，第二半导体芯片在堆叠中耦合到第一半导体芯片并且包括电连接到读出电路系统的图像处理电路系统。读出电路系统可以包括多个晶体管，每个晶体管包括间隔开的源极区域和漏极区域、在源极区域和漏极区域之间延伸的超晶格沟道，以及包括在超晶格沟道上的栅极绝缘层和在栅极绝缘层上的栅极电极的栅极。