[发明专利]气体泄漏探测装置、工件检查装置以及泄漏检查方法在审
| 申请号： | 201880085375.9 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111566464A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 服部敦夫 | 申请（专利权）人： | 雅马哈精密科技株式会社 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 曲天佐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 工件检查装置(1)具备：检查室(2)，其被填充与大气不同的检查用气体(TG)，收容工件(1000)；检查部(3)，其检查收容于检查室(2)内的工件(1000)；以及气体泄漏抑制构造(4)，其抑制工件(1000)相对于检查室(2)的出入所产生的检查室(2)内的检查用气体(TG)的泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 泄漏 探测 装置 工件 检查 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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