[发明专利]搬送车有效
申请号: | 201880085642.2 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN111565993B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
发明(设计)人: | 小林诚 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | B61B3/02 | 分类号: | B61B3/02;B65G1/04;H01L21/677 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;沈静 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 具备:移动机构(60),其通过驱动部(51)的驱动,使摆动抑制部(70)在与FOUP(90)接触的进入位置(P5)和远离FOUP的退避位置(P6)之间沿行驶方向移动;和缓冲机构(80),其容许通过驱动部的驱动而移动到进入位置的摆动抑制部的、在驱动部的驱动停止后向行驶方向的移动。缓冲机构具有:第一连接部(81)及棒状部(82),其与摆动抑制部连接,并且进行与摆动抑制部向第二位置方向的移动量相应的动作量的动作;第一施力部(84),其对第一连接部及棒状部施力以使摆动抑制部推压FOUP;和第二施力部(85),其在第一连接部及棒状部的动作量为规定量以上时作用于第一连接部及棒状部,并对第一连接部及棒状部施力以使摆动抑制部推压FOUP。 | ||
搜索关键词: | 搬送车 | ||
【主权项】:
暂无信息
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