[发明专利]半导体元件及使用该半导体元件的流量测定装置有效
| 申请号： | 201880085735.5 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN111684240B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 石塚典男;小野濑保夫 | 申请（专利权）人： | 日立安斯泰莫株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体装置及热式流体流量传感器，其抑制在铝膜上产生的应变，抑制由铝膜的反复金属疲劳引起的断线。本发明的半导体装置及热式流体流量传感器使硅膜和铝膜的高度在流量传感器部(隔膜端部正上方)D和电路部(LSI部)D1中为DD1。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 使用 流量 测定 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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