[发明专利]气溶胶流的阻挡有效
| 申请号： | 201880086367.6 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN111655382B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 库尔特·K·克里斯滕松;迈克尔·J·雷恩;J·A·保尔森;约翰·戴维·哈默;查德·康罗伊;詹姆斯·Q·冯 | 申请（专利权）人： | 奥普托美克公司 |
| 主分类号： | B05B1/28 | 分类号： | B05B1/28;B05B7/00;B05B7/04;B05B7/24;B05D1/02;B05D1/12;B05D1/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪洋 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于控制通过气动阻挡沉积在衬底上的气溶胶流的方法和设备。气溶胶流在设备的印刷头中由环形的、共同流动的鞘气包围并聚集。在气溶胶的印刷期间，增压气体流动至真空泵。阀在适当的时间处将增压气体添加至鞘气中，并且这两种气体的一部分被偏转到与气溶胶流动方向相反的方向上，以至少部分地阻止气溶胶穿过沉积喷嘴。一些或全部气溶胶与这部分增压气体和鞘气结合，并从印刷头中排出。可以使用预鞘气来最小化印刷头流动通道的中心处的气体流与印刷头流动通道的侧面附近的气体流之间的延迟。 | ||
| 搜索关键词： | 气溶胶 阻挡 | ||
【主权项】：
暂无信息
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