[发明专利]在真空环境中非接触式运输载体的磁浮系统及方法有效
| 申请号： | 201880087132.9 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN111684173B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;拉尔夫·林登贝格;布里塔·斯帕 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16F15/00 | 分类号： | F16F15/00;F16F15/03;F16C32/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种位于真空环境中的磁浮系统，及一种在真空环境中非接触式地运输载体的方法。系统包含：在正方向上可非接触式地移动的载体；至少一磁性轴承，被构造为在与重力相反的保持方向上对载体施加磁力，并将载体非接触式地保持于磁性轴承处；以及作用于载体上的减振装置，减振装置被构造为在与正方向和保持方向垂直的横方向上抑制载体振动。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 环境 中非 接触 运输 载体 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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