[发明专利]离子化装置和质谱分析装置有效

专利信息
申请号: 201880087773.4 申请日: 2018-02-06
公开(公告)号: CN111656483B 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: 西口克 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: H01J49/14 分类号: H01J49/14;H01J49/40;H01J49/42
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种离子化装置(1)以及具备该离子化装置(1)的质谱分析装置(60),其中,该离子化装置(1)包括:离子化室(10);试样气体导入口(14),其设于离子化室(10),用于导入试样气体;电子束释放部(11),其用于朝向离子化室(10)释放电子束;电子束通过口(10a、10b),其形成于离子化室(10)的壁面的、供从电子束释放部(11)释放的电子束通过的路径上,该电子束通过口的在该路径的方向上的长度比与该方向正交的截面的宽度长;以及离子出口(10c),其设于离子化室(10),用于将通过照射电子束而生成的试样气体的离子释放。
搜索关键词: 离子化 装置 谱分析
【主权项】:
暂无信息
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