[发明专利]光合分波器的制造方法有效

专利信息
申请号: 201880088563.7 申请日: 2018-02-09
公开(公告)号: CN111684337B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 金子进一 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: G02B27/10 分类号: G02B27/10;G02B5/08;G02B6/293;G02B7/00;G02B27/00;G02B27/14;G02B5/28;G02B7/182;G02B6/42
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 包含下述工序:在具有平行的一对面的抓持工具(10a、10b)的一个面(10bp)可拆装地保持滤光器(6j),在另一个面(10ap)可拆装地保持反射镜(7);将在与滤光器(6j)和反射镜(7)相对的位置设置有粘接层(9)的保持块(8)以经由粘接层(9)而反映出一对面(10ap、10bp)的平行度的方式由抓持工具(10a、10b)进行抓持;对抓持有保持块(8)的抓持工具(10a、10b)进行加热;以及在抓持有保持块(8)的状态下,对抓持工具(10a、10b)进行冷却,滤光器和反射镜的平行度由抓持工具的彼此平行的一对吸附面的平行度规定。
搜索关键词: 光合 分波器 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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