[发明专利]硅供应部以及包括该硅供应部的用于生长硅单晶锭的装置和方法有效
| 申请号： | 201880088921.4 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN111699286B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 孔晶铉;尹诚焄;李浩俊 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/32;C30B15/10;C30B15/14;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 朱立鸣 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施例提供了一种硅供应部，包括：硅供应室；保持件，该保持件设置在硅供应室的下区域的内壁上；管，该管由硅供应室内的第一线缆垂直地提升；引导件，该引导件设置在管的外部，并与保持件垂直地重叠；以及止挡件，该止挡件由第二线缆垂直地提升和插入到管的下部中，以打开和关闭管的下部。 | ||
| 搜索关键词： | 供应 以及 包括 用于 生长 硅单晶锭 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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