[发明专利]对基板作业机的管理装置有效
| 申请号： | 201880091456.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111886940B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 大池博史;杉山健二;稻浦雄哉 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05K13/00 | 分类号： | H05K13/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 对基板作业机的管理装置具备：存储装置，存储将在生产处理中由对基板作业机的构成装置执行的软件的当前版本与多个构成装置中的各构成装置建立关联而得到的版本信息；及版本指定部，基于生产处理的种类及版本信息来指定应用于生产处理的软件的版本。 | ||
| 搜索关键词： | 作业 管理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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