[发明专利]振动测量装置在审
| 申请号： | 201880092070.0 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN112005086A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 畠堀贵秀;长田侑也;田窪健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01B11/00;G01B11/30;G01J9/02;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 振动测量装置(10)具备：激励部(信号发生器11和振子12)，其在被检查物体中激发弹性波；照明部(所述波长稳定化激光光源13和照明光透镜14)，其使用波长稳定化激光光源(13)对被检查物体(S)的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部(剪切散斑干涉仪15)，其通过散斑干涉法或剪切散斑干涉法来一并测定所述测定区域的各点的在前后方向上的位移。通过使用波长稳定化激光光(13)，即使在被检查物(S)的表面凹凸大的情况下也能够得到干涉像。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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