[发明专利]多极透镜及使用了该多极透镜的像差校正器、带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201880092749.X | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN112088418A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 中野朝则;山泽雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在产生多极场的绕线型的像差校正器中，缓和为了配置电流线所要求的机械位置精度。因此，构成像差校正器的多极透镜具有磁性体芯(150)和多个电流线(101)～(112)，在磁性体芯的内壁设有多个槽(151)～(162)，多个槽的中心(151a)～(162a)相对于磁性体芯的中心轴(150a)轴对称地配置，多个电流线的主线部分别配置于磁性体芯的多个槽的任一个。 | ||
| 搜索关键词： | 多极 透镜 使用 校正 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880092749.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
