[发明专利]蒸发源、用于操作蒸发源的方法和沉积系统在审
| 申请号： | 201880093155.0 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN112074623A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·班格特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容提供一种用于在真空腔室中蒸发沉积材料的蒸发源。蒸发源包括：坩埚组件，所述坩埚组件具有坩埚；加热单元，所述加热单元配置为加热坩埚；屏蔽布置，所述屏蔽布置用于减少坩埚的热辐射至真空腔室中；和第一冷却布置，所述第一冷却布置位于坩埚与屏蔽布置之间。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 用于 操作 方法 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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