[发明专利]衬垫、覆晶薄膜及柔性装置在审
申请号: | 201880093893.5 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN112449721A | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | 杜利剑;李文辉;刘佳豪;叶桂卿 | 申请(专利权)人: | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/288 | 分类号: | H01L21/288;G02F1/1343 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了一种衬垫(10),设于器件上,用于与其他器件的电连接,衬垫包括多个子衬垫组(100),多个子衬垫组在第一方向上间隔排列;子衬垫组包括多个子衬垫(110),多个子衬垫在第二方向上间隔排列;第一方向与第二方向相交。还提供一种覆晶薄膜(20)和一种柔性装置。将设于器件上的衬垫用于与其他器件在热压接过程中能够减少衬垫因热膨胀产生偏移影响,使器件与其他器件的对接更准确,提高电性连接性能。 | ||
搜索关键词: | 衬垫 薄膜 柔性 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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