[发明专利]光偏转器及扫描型激光显微镜有效
| 申请号： | 201880094063.4 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN112204449B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 白石直规 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B21/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光偏转器及扫描型激光显微镜，能够抑制可动部(110)的光学反射面(114)的动态变形，并且能够小型化，光偏转器具有：所述可动部，其具有反射镜部(112)和保持所述反射镜部的反射镜保持部(120)，所述反射镜部具有所述光学反射面(114)和第一肋(116)，所述反射镜保持部具有在与所述第一肋交叉的方向上排列且在与所述第一肋的交点处与所述第一肋接合的第二肋(122)；一对弹性部件(132、134)，它们以使可动部能够以摆动轴为中心摆动的方式支承所述可动部；以及一对支承部(142、146)，它们与所述弹性部件的所述第二端部(132b、134b)连结，支承所述弹性部件，所述第一肋(116)和/或所述第二肋(122)具有至少一个第一凸部(119)或第二凸部(123)，所述第一凸部或第二凸部从所述第一肋与所述第二肋的接合部沿所述第二肋或所述第一肋的延伸方向突出。 | ||
| 搜索关键词： | 偏转 扫描 激光 显微镜 | ||
【主权项】：
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