[发明专利]存储装置在审

专利信息
申请号: 201880094520.X 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN112262475A 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 内村康宏;滨田龙文;五月女真一;九鬼知博;大岛康礼;有隅修 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582;H01L21/336;H01L27/11524;H01L27/11556;H01L27/1157;H01L29/788;H01L29/792
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提高存储装置的成品率。实施方式的存储装置具备:衬底(100);结构体(50),包含积层在衬底(100)上的多个导电层(70);以及柱(MP),设置在结构体(50)内,且包含朝相对于衬底(100)的表面垂直的方向延伸的半导体层(82);且半导体层(82)包含第1部分(820)、以及第1部分(820)与衬底(100)之间的第2部分(824),第1部分(820)的膜厚(T1)比所述第2部分(822)的膜厚(T2)厚。
搜索关键词: 存储 装置
【主权项】:
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