[发明专利]干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪有效
| 申请号： | 201880096674.2 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112567196B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 村松尚 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/00;G01B9/02055;G01B11/14;G01J3/45;G01J3/453 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 干涉仪移动镜位置测定装置(10)用于确定具有分束器(22)、固定镜(23)以及移动镜(24)的干涉仪的移动镜(24)的位置，干涉仪移动镜位置测定装置(10)具备：激光光源(11)；相位分离光学系统(1/8波片(15)、偏振分束器(16))，其能够将相位互不相同的第一光和第二光进行分离并进行检测，第一光和第二光是激光光源(11)的光被固定镜(23)和移动镜(24)反射而生成的；信号变换部，其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光，来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；信号变换部(第一光检测器(17A)、第二光检测器(17B))，其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光，来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；相位计算部(18)，其在针对第一正弦波信号和第二正弦波信号分别进行了标准化及相位差校正后，计算在各时间点的第一正弦波信号或者第二正弦波信号的相位；以及移动镜位置确定部(19)，其基于移动镜(24)的位置与相位的关系，根据在特定的时间点的相位来确定在该时间点的移动镜(24)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 移动 位置 测定 装置 傅里叶变换 红外 分光 光谱仪 | ||
【主权项】：
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