[发明专利]等离子体发生装置和等离子体头冷却方法有效
| 申请号： | 201880096922.3 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112655280B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 泷川慎二;丹羽伦子;神藤高广 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体发生装置具备：等离子体头，放出被等离子体化的等离子体气体；气体供给装置，将成为等离子体气体的气体供给至等离子体头；一对电极，设置于等离子体头，对从气体供给装置供给的气体的一部分进行放电而成为等离子体气体；温度传感器，设置于等离子体头，对等离子体头的温度进行计测；及控制装置，控制装置执行如下冷却处理：在使一对电极的放电停止之后，使气体供给装置持续供给气体来进行等离子体头的冷却，直至温度传感器计测到预定值以下的温度为止。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生 装置 冷却 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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