[发明专利]预处理用于测量沉积速率的振荡晶体的预处理方法、沉积速率测量装置、蒸发源和沉积设备在审
| 申请号： | 201880097507.X | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN112703269A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·弗兰克;安德烈亚斯·穆勒;朱利安·奥巴赫;斯蒂芬·凯勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;G01N29/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 描述了一种预处理用于测量沉积速率的振荡晶体(110)的方法。该方法包括对振荡晶体的测量表面(115)进行极化。具体来说，该方法包括用含氧等离子体预处理振荡晶体的测量表面，其中预处理在10℃≤T≤80℃的温度下进行1min≤t≤5min的时间段t。另外，描述了沉积速率测量装置、蒸发源和沉积设备。 | ||
| 搜索关键词： | 预处理 用于 测量 沉积 速率 振荡 晶体 方法 装置 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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