[发明专利]相移干涉仪及执行干涉仪测量的方法有效
| 申请号： | 201880098092.8 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN112752946B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | N·P·史密斯 | 申请（专利权）人： | 昂图创新有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;G01B11/00;G02B21/14;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G02B27/28;G02B27/58;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 魏小薇;吴丽丽 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种干涉仪，其使用相移掩模，该相移掩模包括的像素阵列与检测器的对应像素阵列对准。该相移掩模中的每个像素适于产生测试光束和参考光束之间的多个预定相移中的一个预定相移。例如，该像素可为线性偏振器或相位延迟元件，其具有该多个偏振器取向或相位延迟中的一者以产生该测试光束和该参考光束之间的该预定相移。该相移掩模中的该像素被布置在该阵列中以便包括以一列宽的行、一行高的列、或多个行和列的块的重复像素组中的该预定相移中的每一者。 | ||
| 搜索关键词： | 相移 干涉仪 执行 测量 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昂图创新有限公司，未经昂图创新有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880098092.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
