[发明专利]具有微镜阵列的微机械镜组件及其混合驱动方法在审
| 申请号： | 201880098547.6 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN113227875A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 周勤;王佑民 | 申请（专利权）人： | 北京航迹科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G01S7/481;G01S17/931;G01S7/4863 |
| 代理公司： | 北京睿派知识产权代理事务所(普通合伙) 11597 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 100193 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开实施例提供了一种微机械镜组件及其混合驱动方法。在一个示例中，微机械镜组件包括基座和固定在所述基座上的微镜阵列。所述基座被配置为围绕基座倾斜轴倾斜。微镜阵列中的每个微镜被配置为围绕其各自的镜倾斜轴倾斜。各微镜的倾斜轴彼此平行，但不平行于基座倾斜轴。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 阵列 微机 组件 及其 混合 驱动 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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