[发明专利]单元管理装置及单元管理方法有效
申请号: | 201880099024.3 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN112913342B | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 铃木大树;岩崎正隆 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士 |
主分类号: | H05K13/00 | 分类号: | H05K13/00;H05K13/04 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 杨青;安翔 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 单元管理装置管理驱动单元,上述驱动单元设置于对基板进行预定的对基板作业而生产基板产品的对基板作业机并且具备步进马达和由步进马达驱动的被驱动部。单元管理装置具备间隔设定部和判断部。间隔设定部将动作间隔设定得比生产基板产品时短。动作间隔以对基板作业中反复执行的预定动作中的一个预定动作结束而供给到步进马达的脉冲信号停止的时刻作为起点,以为了开始接下来的预定动作而开始供给脉冲信号的时刻作为终点。判断部以由间隔设定部设定的动作间隔驱动步进马达来检测有无失步,并基于步进马达有无失步来判断被驱动部是否需要维护。 | ||
搜索关键词: | 单元 管理 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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