[发明专利]对基板作业机的设备管理系统有效
申请号: | 201880099128.4 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN112956287B | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 松山和也 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士 |
主分类号: | H05K13/00 | 分类号: | H05K13/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 杨青;安翔 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 设备管理系统具备:搬运台车,能够在包含保管构成设备的保管库及对基板作业机的移动范围内移动;位置检测部,检测移动范围内的搬运台车的当前位置;信息取得部,设于搬运台车,取得收纳于搬运台车的构成设备的识别信息;及管理控制部,根据基于位置检测部的检测结果及基于信息取得部的识别信息来管理搬运台车及构成设备。 | ||
搜索关键词: | 作业 设备管理 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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