[发明专利]用于高传导性阀的控制板在审
| 申请号： | 201880100451.9 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN113227618A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 乌金玉 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/08 | 分类号： | F16K3/08;F16K3/314;F16K27/04 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种高纯度流体控制阀包括可移动的控制板，该控制板具有流通通道以增强内部阀体积的流体扫掠。该阀为喷射式和阀座式的、使用嵌套的孔口脊，以在较小的致动器移动的情况下实现高传导。通过选择性地将比构成孔口脊的材料更软的材料选择性地掺入控制板中，可以额外地提高阀阻断状态下的密封性。控制板特别适用于高传导、快速动作和比例控制的应用，比如半导体制造中的气体输送。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传导性 控制板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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