[其他]超声波洗净装置及超声波洗净系统有效
| 申请号： | 201890000296.9 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210497445U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 大畑桂辅;坂元律之 | 申请（专利权）人： | 株式会社海上 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 刘兵;金惠淑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种超声波洗净装置及超声波洗净系统，其可洗净玻璃基板等半导体基板及可挠性薄膜等大型被洗净物，具备线形冲洗型及号角型的超声波洗净装置的功能，可省液化大幅减低使用的洗净液。该装置具备：筐体，具有底面，该底面与相对向设置的被洗净物形成倾斜面，在内部下面设有超声波振动子；洗净液供应装置，作为将洗净液供应给筐体底面的液膜形成手段；及流速加速装置，将来自作为液膜形成手段的洗净液供应装置的洗净液流速加速，作为喷出洗净液的流速加速部；筐体由本体构成，该本体具有上板、安装于上板下部的凸出部、从凸出部往下方向延伸形成的外部侧面、及在外部侧面的下端部一体连结构成的底面；底面构成仅以规定角度倾斜于水平面。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 洗净 装置 系统 | ||
【主权项】：
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