[发明专利]一种微纳米精度测量位移传感器、系统及制备方法有效
| 申请号： | 201910001926.5 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN109855520B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 朱大昌;占旺虎;贺香华;杨家谋;赖俊豪;钟云 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;麦小婵 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳米精度测量位移传感器，包括具有反向增益的柔顺机构、位移测量电极和用于整体封装的传感器外壳；柔顺机构采用一体化加工成型技术连接在传感器外壳上，柔顺机构的首端具有被测位移接触输入端，柔顺机构的末端具有输出端运动电极；位移测量电极包括第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，第一电极和第二电极分别设置在运动电极的左端的上下方，第三电极和第四电极分别设置在运动电极的右端的上下方，第一电极、第二电极、第三电极和第四电极均固定连接与传感器外壳上，运动电极与第一、第二电极和第三、第四电极共同构成两组差动式位移测量电路，通过外接读取处理电路，实现微纳米位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 精度 测量 位移 传感器 系统 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微纳米精度测量位移传感器，其特征在于，包括具有反向增益的柔顺机构、位移测量电极和用于整体封装的传感器外壳；所述柔顺机构采用一体化加工成型技术连接在所述传感器外壳上，所述柔顺机构的首端具有被测位移接触输入端，所述柔顺机构的末端具有输出端运动电极；所述位移测量电极包括第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，所述第一电极和第二电极分别设置在所述运动电极的左端的上下方，所述第三电极和第四电极分别设置在所述运动电极的右端的上下方，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极均固定连接与所述传感器外壳上，所述运动电极与所述第一、第二电极和所述第三、第四电极共同构成两组差动式位移测量电路，通过外接读取处理电路，实现微纳米位移测量。
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