[发明专利]一种金属膜超振荡环带片的设计方法有效
申请号: | 201910005119.0 | 申请日: | 2019-01-03 |
公开(公告)号: | CN109613698B | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 刘涛;刘康;田博;杨树明;刘强;王佳怡;李国卿;何韬 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G02B27/00 | 分类号: | G02B27/00;G06F30/23;G06F30/17;G06F30/27 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种金属膜超振荡环带片的设计方法,属于微纳光学与纳米光子学技术领域。该方法基于不等宽度的金属膜同心环带结构,在激光光束垂直照明条件下,使用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法计算超振荡环带片之后任意距离垂轴平面内的衍射光场;设定超振荡环带片的直径、环带数、焦距和最小环带宽度;建立单焦点或光针聚焦问题的优化目标函数;采用遗传算法对环带宽度及其透过率进行优化,得到满足设计目标的超振荡环带片结构。本发明相对于现有的超振荡环带片设计方法,由于基于不等宽度的环带结构,并可根据现有加工工艺限定最小环带宽度,从而可以设计出包含少量透光环带、具有更优性能的金属膜超振荡环带片。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属膜 振荡 环带 设计 方法 | ||
【主权项】:
1.一种金属膜超振荡环带片的设计方法,其特征在于,该方法基于不等宽度的金属膜同心环带结构,在激光光束垂直照明条件下,使用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法计算超振荡环带片之后任意距离垂轴平面内的衍射光场;设定超振荡环带片的直径、环带数、焦距和最小环带宽度;建立单焦点或光针聚焦问题的优化目标函数;采用遗传算法对环带宽度及其透过率进行优化,得到接近或满足设计目标的超振荡环带片结构。
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