[发明专利]用于制备无定形含锂化合物的气相沉积法在审
| 申请号： | 201910005924.3 | 申请日： | 2015-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN109468595A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | B·E·哈伊登;D·C·A·史密斯;C·E·李;A·阿纳斯塔索普洛斯;矢田千寻;L·M·伯金斯;D·A·劳曼 | 申请（专利权）人： | 爱利卡技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/08;H01M10/0562;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 英国南*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备无定形含锂化合物的气相沉积法。用于制备不含磷的无定形含锂氧化物或氧氮化物化合物的气相沉积法包括：提供该化合物的每一组成元素的蒸气源，该蒸气源包括至少锂源、氧源、氧氮化物化合物的情况下的氮源、和一个或多个玻璃形成元素源；将基材加热到基本上180℃或更高；和从该蒸气源将该组成元素共沉积到该加热的基材上，其中该组成元素在该基材上反应以形成该无定形化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 气相沉积法 组成元素 无定形 蒸气源 基材 制备 含锂化合物 氧氮化物 加热 玻璃形成元素 无定形化合物 含锂氧化物 共沉积 氮源 氧源 锂源 | ||
【主权项】：
1.用于制备不含磷的无定形含锂氧化物或氧氮化物化合物的气相沉积法，其中含锂氧化物化合物是含有锂、氧和一种或多种其他元素的化合物，且含锂氧氮化物化合物是含有锂、氧、氮和一种或多种其他元素的化合物，该方法包括：提供该化合物的每一组成元素的蒸气源，其中该蒸气源至少包括锂源、氧源、和一个或多个玻璃形成元素源；将基材加热到>150℃的温度；和从该蒸气源将该组成元素共沉积到该加热的基材上，其中该组成元素在该基材上反应以形成该无定形化合物。
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