[发明专利]一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法有效
| 申请号： | 201910007011.5 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109540803B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 修鹏;郑崇;吴志宏;徐文斌;李军伟 | 申请（专利权）人： | 北京环境特性研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 张沫;周娇娇 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法，所述装置的一实施方式包括：在该装置中，激光器发出激光，激光由声光调制器进行调制之后进入第一会聚透镜，第一会聚透镜将激光聚焦耦合到光纤，激光从光纤出射后由准直透镜进行准直并进入起偏器；起偏器出射的激光由第二会聚透镜进行聚焦，之后透过半透半反镜并经过高数值孔径透镜照射在待检测物品；待检测物品反射的激光经过高数值孔径透镜之后由半透半反镜反射到检偏器，检偏器出射的激光经过场镜之后照射到感光单元；感光单元获取激光光强以确定椭偏参数。该实施方式能够测量不同反射角、方位角、温度、波长条件下样品的偏振反射特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭偏仪 装置 基于 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种椭偏仪装置，其特征在于，包括依次设置的：激光器、声光调制器、第一会聚透镜、光纤、准直透镜、起偏器、第二会聚透镜、半透半反镜、高数值孔径透镜、检偏器、场镜和感光单元；其中，激光器发出激光，激光由声光调制器进行调制之后进入第一会聚透镜，第一会聚透镜将激光聚焦耦合到光纤，激光从光纤出射后由准直透镜进行准直并进入起偏器；起偏器出射的激光由第二会聚透镜进行聚焦，之后透过半透半反镜并经过高数值孔径透镜照射在待检测物品；待检测物品反射的激光经过高数值孔径透镜之后由半透半反镜反射到检偏器，检偏器出射的激光经过场镜之后照射到感光单元；感光单元获取激光光强以确定椭偏参数。
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