[发明专利]用于面朝上式的研磨装置的研磨头、具备该研磨头的研磨装置及使用该研磨装置的研磨方法有效
| 申请号： | 201910007722.2 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN110000689B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 小林贤一;户川哲二 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了用于面朝上式的研磨装置的研磨头、具备该研磨头的研磨装置及使用了该研磨装置的研磨方法。在面朝上式的研磨装置中，不经由旋转接头就供给研磨液。作为一实施方式，本申请公开了一种研磨头，该研磨头在下表面安装研磨垫来使用，该研磨头用于面朝上式的研磨装置，该研磨头具备：液体贮存部，该液体贮存部设于研磨头的旋转轴的周围，且用于接收液体；及液体排出口，该液体排出口设于研磨头的下表面，且用于排出由液体贮存部接收到的液体，在研磨头的上部形成有以研磨头的旋转轴为中心的环状的开口，液体贮存部经由开口而研磨头的外部的空间连通。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 朝上 研磨 装置 具备 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头，用于以基板的研磨面朝上的方式保持所述基板的研磨装置，所述研磨头的特征在于，具备：液体贮存部，该液体贮存部设于所述研磨头的旋转轴的周围，且用于接收液体；及液体排出口，该液体排出口设于研磨头的下表面，且用于排出由所述液体贮存部接收到的液体，在所述研磨头的上部形成有以所述研磨头的旋转轴为中心的环状的开口，所述液体贮存部经由所述开口而与所述研磨头的外部的空间连通。
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