[发明专利]用于激光跟踪仪的动静态校准装置及动、静态校准方法有效
| 申请号： | 201910008626.X | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109764806B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 叶国永;刘红忠;李映江;史永胜;雷彪;韩伟亮 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B21/04 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于激光跟踪仪的动静态校准装置及动、静态校准方法，一种用于激光跟踪仪的动静态校准装置，以高精密二维光栅作为标定基准，解决了传统靶球式标定存在的精度不足和单一静态标定的问题。通过探针在二维光栅上移动，利用二维光栅测量具有的高精度，高分辨力的特性，来测量出安放于滑块上靶标所移动的距离，并且使误差控制在10nm——100nm的范围内，同时激光跟踪仪也对靶标进行测量，将二者的数据进行对比，即可提高校准的精度，通过对探针的移动速度以及移动轨迹控制，还可以对激光跟踪仪的动态速度、动态速度极限以及圆轨道进行校准测量，可广泛应用于激光跟踪仪的常规动静态校准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 跟踪 静态 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光跟踪仪的动静态校准装置，其特征在于，包括光栅测量装置和相互垂直的水平板(11)和竖直板(12)，水平板(11)用于放置激光跟踪仪(2)，竖直板(12)上固定有竖向导轨(41)和光栅测量装置中的二维光栅(3)，竖向导轨(41)上滑动连接有滑块(7)，滑块(7)与探针(8)的一端固定连接，探针(8)的另一端与二维光栅(3)相接，滑块(7)还与靶座(6)的一端固定连接，靶座(6)的另一端固定有靶标(5)，探针(8)和靶座(6)相对设置。
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