[发明专利]一种采用闭循环制冷机的低振动降温装置

摘要

本发明公开了一种采用闭循环制冷机的低振动降温装置，该装置包括：制冷机制冷系统、波纹管隔振系统和真空系统；制冷机制冷系统包括金属套筒、制冷机冷头、制冷机压缩机和氦气热交换系统，制冷机冷头下端设置导流装置，制冷机冷头和金属套筒之间设置防对流填充物，波纹管隔振系统采用多级波纹管隔振，真空系统为系统建立超高真空环境。本发明的有益效果为：通过使用闭循环制冷机对氦气液化，实现更低的温度；制冷机冷头最低端的导流装置，避免液氦滴下产生的振动；制冷机冷头与金属套筒间的防对流填充物，防止由于氦气对流而产生的振动；采用多级波纹管的设计，最大程度隔绝制冷机在工作中产生的振动，从而为对振动非常敏感并要求低温的设备降温。

主权项

1.一种采用闭循环制冷机的低振动降温装置，其特征在于，包括制冷机制冷系统，其包括：金属套筒(14)、下端置于所述金属套筒(14)内部的制冷机冷头(11)、位于所述金属套筒(14)底部外侧的温度监测装置(15)、与所述制冷机冷头(11)的上端连接的制冷机压缩机(13)和氦气热交换系统，所述制冷机冷头(11)下端设置导流装置(17)，所述制冷机冷头(11)和所述金属套筒(14)之间设置防对流填充物(16)，所述金属套筒(14)底部空间存储液氦，且所述导流装置(17)伸入液氦内；波纹管隔振系统，其为多级波纹管，包括依次首尾级联的多级波纹管和分别固定每一级波纹管的波纹管隔振架，所述波纹管隔振架的上端与每一级波纹管的上端连接，所述多级波纹管的最下端一级波纹管的下端与所述金属套筒(14)上端连接，所述多级波纹管的最上端一级波纹管的上端与所述制冷机冷头(11)上端的密封挡板连接；真空系统，其包括：真空腔体外壳(31)和真空泵组(32)，所述真空腔体外壳(31)套在所述金属套筒(14)外侧，所述真空泵组(32)使得所述真空腔体外壳(31)与所述金属套筒(14)之间形成的密封空间为真空腔体。