[发明专利]基于调整结构补偿参数的硅微谐振式加速度计温度补偿算法有效
| 申请号： | 201910011712.6 | 申请日： | 2019-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN110018330B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 黄丽斌;李文祥;范书聪;李宏生;赵立业 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 王安琪 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于调整结构补偿参数的硅微谐振式加速度计温度补偿算法，通过公式推导得到硅微谐振式加速度计接口电路的电容电压增益系数，转化为硅微谐振式加速度计的振幅至输出电压的转化系数，给出电容电压增益系数对温度的敏感度；自动增益控制电路将硅微谐振式加速度计谐振梁的振幅稳定在给定的参考电压驱动下的振幅，当硅微谐振式加速度计接口电路的电容电压增益系数随温度发生变化，当温度发生变化时，外围控制电路对谐振频率会产生影响，得到谐振频率与温度的敏感度；通过适当的设置谐振结构的温度补偿结构参数，达到抑制频率随温度漂移的目标。本发明的温度补偿不需要额外增加传感器，成本低，不引入其他影响量，补偿方法精确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 调整 结构 补偿 参数 谐振 加速度计 温度 算法 | ||
【主权项】：
1.基于调整结构补偿参数的硅微谐振式加速度计温度补偿算法，其特征在于，包括如下步骤：(1)根据接口电路建立谐振梁驱动检测方程，得到谐振式加速度计的接口电路差变电容信号的增益KC/V；(2)根据差变电容的增益建立谐振梁振幅对温度的敏感度，得到KX/V和![]()
(3)当温度发生变化时，环形二极管的接口电路的增益KC/V发生变化，自动增益控制电路为了维持χ恒定的幅值，则相应的振动幅度也会发生变化；通过合理的设置谐振结构的温度补偿结构参数，达到抑制频率随温度漂移的作用。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910011712.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：锥形体光纤加速度传感器系统
- 下一篇：一种表征增原子上下坡扩散概率比的方法
