[发明专利]熔石英光学玻璃的激光束抛光方法

摘要

本发明为一种熔石英光学玻璃的抛光方法，该方法利用连续CO₂激光束抛光熔石英光学玻璃，采用非聚焦光源并结合温度监控及反馈系统，实现对熔石英光学玻璃表面粗糙度RMS小于0.2nm的激光束抛光，抛光后熔石英光学玻璃的表面几乎无微缺陷和划痕。该发明包含退火步骤，可消除激光束抛光带来的残余热应力。本发明为无损超光滑表面熔石英光学玻璃的加工提供了新方法。

主权项

1.一种熔石英光学玻璃的激光束抛光方法，其特征是该抛光方法包括以下步骤：1)抛光前熔石英光学玻璃元件准备：将熔石英光学玻璃元件采用传统抛光方法抛光或研磨至精磨阶段，然后采用光学元件清洗方法将熔石英光学玻璃清洗干净，确保元件表面清洁无杂质残余，再将熔石英光学玻璃元件放置在洁净的抛光平台上；2)抛光参数设定及路径规划：选用连续CO2激光光源，扫描路径根据加工需要选择，扫描速度根据激光能量和光斑尺寸，设定为1mm/s至1m/s不等，扫描间距设定为小于激光光束的半径(1/e2)；3)采用高温计或红外热像仪实时监测抛光光学元件温度：当待抛光区域温度高于材料气化温度或预设定温度时，降低连续CO2激光光源的激光能量；当待抛光区域温度低于预设定温度时，提高连续CO2激光光源的激光能量，确保抛光熔石英光学玻璃元件过程温度处于恒定温度范围内；4)激光抛光的熔石英光学玻璃退火：将激光抛光的熔石英光学玻璃平放在高温退火炉中进行退火处理。