[发明专利]一种蒸镀坩埚及蒸镀装置

摘要

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。用以解决蒸镀过程中坩埚中部温度高两侧温度低，而使得中间喷嘴的蒸镀速率大，两侧喷嘴的蒸镀速率小导致蒸镀不均匀的问题。一种蒸镀坩埚，包括坩埚主体，和设置在坩埚主体上的盖体，盖体上设有沿一直线等间距排列的多个喷嘴；坩埚主体内设有挡板，挡板水平设置且与坩埚主体可拆卸连接；在挡板和每个喷嘴之间均设置有结构相同的蒸汽通道，每个蒸汽通道的下端口与挡板的上表面连接；挡板上和每个蒸汽通道的下端口相交叠的区域均设有多个蒸汽溢出孔，在多个喷嘴的排列方向上，从中间的喷嘴到两侧的喷嘴，各自所对应连通的蒸汽溢出孔在竖直方向的投影的总面积逐渐增大。

主权项

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚主体，和设置在所述坩埚主体上的盖体，所述盖体上设有多个喷嘴，多个所述喷嘴沿一直线等间距排列；所述坩埚主体内设有挡板，所述挡板水平设置，将所述坩埚主体内空间分隔为上下两个空间，所述挡板与所述坩埚主体可拆卸连接；在所述挡板和每个所述喷嘴之间均设置有结构相同的蒸汽通道，每个所述蒸汽通道设置在所述挡板和每个所述喷嘴在竖直方向的正对位置处，且分别通过上端口与所述喷嘴相对应连通，通过下端口与所述挡板的上表面连接；所述挡板上和每个所述蒸汽通道的下端口相交叠的区域均设有多个蒸汽溢出孔，在多个所述喷嘴的排列方向上，从中间的喷嘴到两侧的喷嘴，各自所对应连通的蒸汽溢出孔在竖直方向上的投影的总面积逐渐增大。