[发明专利]一种基于溶胶凝胶法制备铜铟镓硒吸收层的方法有效
申请号: | 201910013613.1 | 申请日: | 2019-01-08 |
公开(公告)号: | CN109713061B | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 李丽波;翟墨;杜金田;谢明 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨理工大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150080 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于溶胶凝胶法制备的铜铟镓硒吸收层,其特征在于,所述工艺步骤包括:铜铟镓硒溶胶的制备,陈化凝胶稀释制前驱体,退火热处理三个步骤。以氯化铜、硫酸铟、氯化镓、二氧化硒作为原料,摩尔比为Cu:In:Ga:Se=5:7:3:20,添加乙二醇甲醚作为溶剂,三乙醇胺作为络合剂制备得到铜铟镓硒前驱体溶胶,室温陈化后为凝胶,一部分经退火热处理制备为铜铟镓硒粉末;另一部分经稀释涂膜,后热处理得到铜铟镓硒薄膜。本发明制备的铜铟镓硒吸收层结构致密,平整,薄膜禁带宽度可到1.54 eV,且制备过程简单,低碳环保,能够满足对铜铟镓硒吸收层的要求与需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 溶胶 凝胶 法制 备铜铟镓硒 吸收 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于溶胶凝胶法制备的铜铟镓硒吸收层,其特征在于:一、铜铟镓硒溶胶的制备:将氯化铜、硫酸铟、氯化镓、二氧化硒按一定的比例(摩尔比为Cu:In:Ga:Se=5:7:3:20)溶解在溶剂中,在50‑70 ℃下水浴搅拌至白色溶液状,加入络合剂三乙醇胺继续搅拌至溶胶状,待用;二、陈化凝胶:将得到的溶胶室温下陈化18‑24小时得到蓝色的凝胶,取其一部分待用;另一部分加入溶剂稀释后在掺氟二氧化锡导电玻璃上涂膜,经初步热处理挥发溶剂与杂质后,待用;三、退火热处理(1)、铜铟镓硒粉末:取制备得到的铜铟镓硒凝胶,在氮气气氛下,一定的升温速率(4‑8 ℃/min),升至退火温度(400‑600 ℃)恒温(30‑90 min)后,自然冷却至室温后取出研磨;(2)、铜铟镓硒薄膜:取经初步热处理后的薄膜,在氮气气氛下,升温速率在(4‑8 ℃/min),升至退火温度(400‑600 ℃)恒温(30‑90 min)后,取出,成为铜铟镓硒吸收层。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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