[发明专利]SiON波导与光纤耦合结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201910014594.4 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN109445032A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 袁晓君;耿凯鸽 | 申请（专利权）人： | 科新网通科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B6/138;G02B6/136;G02B6/132 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 葛钟 |
| 地址： | 471000 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种SiON波导与光纤耦合结构，包括SiON波导，为输入波导；二氧化硅波导，包覆于SiON波导的外侧；锥形SiON波导，被包覆于二氧化硅波导内侧，且处于SiON波导水平面的下方，且横截面尺寸小于SiON波导的横截面尺寸，横截面尺寸沿着光传输的方向渐扩；SiON输出波导，与锥形SiON波导连接。以及制作SiON波导与光纤耦合结构的方法。本发明在SiON波导上包覆一层SiO2，使这个结构与空气隔开并起到保护作用，SiON波导与锥形SiON波导的折射率不同，SiON波导能够与光纤匹配，锥形SiON波导又能够做到小尺寸，通过该种耦合结构，可以把器件做小，且减小了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 光纤耦合结构 包覆 二氧化硅波导 波导连接 输出波导 输入波导 耦合结构 光传输 折射率 隔开 减小 渐扩 制作 能耗 匹配 光纤 | ||
【主权项】：
1.一种SiON波导与光纤耦合结构，其特征在于，包括：SiON波导，为输入波导；二氧化硅波导，包覆于所述SiON波导的外侧；锥形SiON波导，被包覆于所述二氧化硅波导内侧，且处于所述SiON波导水平面的下方，且横截面尺寸小于所述SiON波导的横截面尺寸，横截面尺寸沿着光传输的方向渐扩；SiON输出波导，与所述锥形SiON波导连接。
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