[发明专利]一种多功能气体检测装置在审
| 申请号： | 201910014996.4 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN109632936A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 宾峰;康润宁;何浚珧;魏小林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N21/3504;G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种多功能气体检测装置，包括：六通真空腔体(1)，以及与所述六通真空腔体(1)中任意四个进出口分别连接的气室(2)、分子泵(3)、耦合原位反应池(5)和毛线管进样系统(6)；所述六通真空腔体(1)的其余两个进出口为密封状态，且两个密封状态中的一个上设置有四级杆(7)。通过六通真空腔将耦合原位反应池与质谱仪有机地联系起来，通过在线切换气体流路，保证反应系统的高压与高真空条件，在不影响表面反应正常进行的情况下能够实时在线精确测得表面反应的反应物、中间产物及最终产物的变化历程，实现反应定性定量分析，有效提高对表面反应机理的精确描述。 | ||
| 搜索关键词： | 六通 真空腔体 多功能气体 原位反应池 表面反应 检测装置 密封状态 耦合 毛线 高真空条件 定量分析 反应系统 进样系统 气体流路 实时在线 影响表面 在线切换 最终产物 进出口 反应物 分子泵 四级杆 真空腔 质谱仪 气室 定性 保证 | ||
【主权项】：
1.一种多功能气体检测装置，其特征在于，包括：六通真空腔体(1)，以及与所述六通真空腔体(1)中任意四个进出口分别连接的气室(2)、分子泵(3)、耦合原位反应池(5)和毛线管进样系统(6)；所述六通真空腔体(1)的其余两个进出口为密封状态，且两个密封状态中的一个上设置有四级杆(7)。
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