[发明专利]一种高效率高密度低温等离子体发生制备器在审
| 申请号： | 201910015104.2 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN109675415A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 薛舒文 | 申请（专利权）人： | 薛舒文 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张迪 |
| 地址： | 212000 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效率高密度低温等离子体发生制备器，所述离子体发生制备器为多层腔室结构，用于将气态介质生成等离子体，腔室外部设有等离子发生器，等离子发生器金属器件作为表面等离激元共振件，待反应气体通过输送器件输送至离子体发生制备器内，离子体发生制备器内由进气端到排气端依次设置有与等离子发生器连接的光子放大金属构件、光子解耦金属构件和光反应金属构件，其中，在至少一个金属构件的内壁上附着有工业钻石涂层，或者根据不同应用场景选择其他涂层。该等离子体发生制备器用于处理流体介质的低能耗高效率低温等离子体发生制备器，制备器可在节能高效的同时允许有改进的处理效果，并且降低与之协同合作的整个通风系统整体能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 制备器 金属构件 等离子发生器 低温等离子体 高效率 离子体 光子 等离子体 表面等离激元 等离子体发生 处理流体 反应气体 工业钻石 节能高效 金属器件 气态介质 腔室外部 输送器件 通风系统 依次设置 应用场景 整体能耗 低能耗 多层腔 共振件 光反应 进气端 排气端 室结构 附着 解耦 内壁 放大 协同 改进 合作 | ||
【主权项】：
1.一种高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，所述离子体发生制备器为多层腔室结构，用于将气态介质生成等离子体，腔室外部设有等离子发生器，等离子发生器金属器件作为表面等离激元共振件，待反应气体通过输送器件输送至离子体发生制备器内，离子体发生制备器内由进气端到排气端依次设置有与等离子发生器连接的光子放大金属构件、光子解耦金属构件和光反应金属构件。
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