[发明专利]一种基于超薄金属的透明导电薄膜有效
| 申请号： | 201910015540.X | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN109778129B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 宋伟杰;王肇肇;李佳;黄金华;杨晔;许君君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/18;H01B5/14 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理有限公司 33226 | 代理人： | 谢潇 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种基于超薄金属的透明导电薄膜，包括自下而上依次设置的底部介电层、超薄金属层和顶部介电层，超薄金属层为银层，底部介电层和顶部介电层的化学组成均为M |
||
| 搜索关键词： | 一种 基于 超薄 金属 透明 导电 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种基于超薄金属的透明导电薄膜，包括自下而上依次设置的底部介电层、超薄金属层和顶部介电层，其特征在于：所述的超薄金属层为银层，所述的底部介电层和所述的顶部介电层的化学组成均为MxZn1‑xO，其中，所述的底部介电层的平均表面粗糙度为0.1～0.3nm，M为掺杂元素，M为Mg、In、Gd中任意一种，x为M的掺杂量与M和Zn的总量的质量比，x=0.005～0.5。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910015540.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
