[发明专利]平面锂靶材组件的制造方法和设备在审
| 申请号： | 201910015660.X | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111411329A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 齐大志;程滋平;杨诚;陈强;牟瀚波;吴春敢;刘慧芳;代春雨 | 申请（专利权）人： | 天津中能锂业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/14;B23K20/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 贺卫国 |
| 地址： | 300457 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 公开了一种平面锂靶材组件的制造方法和设备。平面锂靶材组件的制造方法包括：提供锂靶坯和背板，所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面，所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面；将所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表面相对设置并贴合，形成初始组件；在真空环境中，使用施压块对所述锂靶坯的第一背面施加压力，同时加热所述初始组件，使所述锂靶坯与所述背板在贴合表面处发生扩散焊接，形成平面锂靶材组件。本发明技术方案解决了平面锂靶材生产中靶材质量不佳的问题，所制造的靶材组件具有高抗拉强度，还可以解决金属锂柔软和黏性所导致的生产问题，使靶材组件的生产简洁易行，且基本无原材料浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 锂靶材 组件 制造 方法 设备 | ||
【主权项】：
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