[发明专利]一种新型结构MEMS微热板

摘要

本发明提供了一种新型结构MEMS微热板。该新型结构MEMS微热板包括硅基衬底、隔离支撑层、加热丝、介质保护层、测量电极、焊盘、隔热槽、腐蚀窗和滴涂槽。本发明提供一种新型结构MEMS微热板，测量区域上方有一滴涂槽，在用滴涂法制作微热版式传感器时只需将浆料液滴滴入槽内后干燥即可。与现有技术相比，滴涂槽内壁与液滴之间的张力作用可以使液滴表面呈平面，另一方面也可防止液滴溢出污染微热板非测量区域，使材料更加均匀地附着在测量区域。本发明的新型结构MEMS微热板可提升MEMS器件的测量精度和性能稳定。

主权项

1.一种新型结构MEMS微热板，其特征在于，所述的新型结构MEMS微热板包括：硅基衬底；隔离支撑层，位于所述硅基衬底的上、下表面，所述隔离支撑层为了避免硅基衬底与引线短路，在所述腐蚀窗和所述隔热槽制造完成后对加热区域和测量区域起到支撑作用；加热丝，位于隔离支撑层上方，所述加热丝对应组成加热区域；介质保护层，位于所述加热电极上方，与所述隔离支撑层对齐，所述介质保护层的功能是对所述加热丝进行保护和绝缘；测量电极和焊盘，位于介质保护层上方，所述测量电极组成测量区域，所述测量区域位于所述加热区域正上方，所述焊盘若干与加热丝端点相连，所述焊盘若干与测量电极端点相连；隔热槽，位于所述硅基衬底内部，开口向上，贯穿所述硅基衬底或全部位于所述硅基衬底内部，所述隔热槽的槽底中心位于所述加热电极正下方；腐蚀窗，贯穿所述介质保护层和所述隔离支撑层，所述腐蚀窗垂直于所述硅基衬底表面，与所述隔热槽相通；滴涂槽，位于所述测量区域正上方，所述滴涂槽的内壁紧密包围所述测量区域，所述滴涂槽不遮盖所述腐蚀窗。