[发明专利]一种晶元纹理图像周期的自动测量方法和系统

摘要

本发明公开了一种晶元纹理图像周期的自动测量方法和系统，包括以下步骤：首先采集到的周期纹理图像进行高斯滤波，已达到过滤信号噪声的目的。接下来对高斯滤波后的图像进行二维快速傅里叶变换，得到图像的频谱和相位，然后对频谱和相位在频域计算自相关。对求取自相关的结果进行求取局部极大值坐标，最后根据极大值坐标求出纹理图像的周期。本发明基于频域自相关的方法快速计算出晶元纹理图像的周期，精度高，速度快，鲁棒性好。

主权项

1.一种晶元纹理图像周期的自动测量方法，其特征在于，包括以下步骤：对晶元纹理图像进行高斯滤波，去除图像信号噪声；对滤波后的图像计算快速傅里叶变换，得出图像的相位和幅值信息；在频域对滤波后的图像进行计算自相关；求取所述自相关的结果的局部极大值；计算相邻局部极大值之间的距离，即为晶元纹理图像周期。