[发明专利]垂直结构近紫外发光二极管及其制备方法有效
申请号: | 201910018370.0 | 申请日: | 2019-01-09 |
公开(公告)号: | CN109841714B | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 王永进;王帅;倪曙煜;袁佳磊 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/46;H01L33/00 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤;陈丽丽 |
地址: | 210023 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及照明、显示和光通信领域,尤其涉及一种垂直结构近紫外发光二极管及其制备方法。所述垂直结构近紫外发光二极管,包括:导电衬底,所述导电衬底具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面;金属反射层,位于所述第一表面;氮化物外延层,位于所述金属反射层表面,包括沿垂直于所述导电衬底的方向依次叠置的P型GaN层、量子阱层、准备层和N型AlGaN层,所述氮化物外延层的厚度小于近紫外光的波长;N型电极,位于所述N型AlGaN层表面;P型电极,位于所述第二表面。本发明提降低了发光二极管内部的吸收损耗,大幅度提高了出光效率。 | ||
搜索关键词: | 垂直 结构 紫外 发光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种垂直结构近紫外发光二极管,其特征在于,包括:导电衬底,所述导电衬底具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面;金属反射层,位于所述第一表面;氮化物外延层,位于所述金属反射层表面,包括沿垂直于所述导电衬底的方向依次叠置的P型GaN层、量子阱层、准备层和N型AlGaN层,所述氮化物外延层的厚度小于近紫外光的波长;N型电极,位于所述N型AlGaN层表面;P型电极,位于所述第二表面。
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